JKL PVD-coating basisproces

(1) Pre-PVD-behandeling, inclusief reiniging van artikelen en voorbehandeling.Specifieke reinigingsmethoden zijn reiniging met reinigingsmiddelen, reiniging met chemische oplosmiddelen, ultrasone reiniging en ionenbombardementreiniging.
(2) Zet ​​ze in de oven, inclusief reiniging van de vacuümkamer en armaturen, en de installatie, inbedrijfstelling en aansluiting van items en armaturen.
(3) Stofzuigen, meestal pompen tot 6,6 Pa of meer, open de voorkant van de diffusiepomp eerder om de vacuümpomp te behouden en de diffusiepomp te verwarmen.Nadat het voorverwarmen voldoende is, wordt de hoge klep geopend en met een diffusiepomp tot een halfbodemvacuüm van 6 x 10-3 Pa gepompt.
(4) Bakken, de items bakken tot de gewenste temperatuur.
(5) Ionenbombardement, het vacuüm is over het algemeen 10 Pa tot 10-1 Pa, het ionenbombardementsvoltage is een negatieve hoogspanning van 200 V tot 1 KV en de aanvalstijd is 15 min tot 30 min.
(6) Voorsmelten, de stroom aanpassen om het materiaal voor te smelten, de stroom aanpassen om de beplating voor te smelten en 1 min ~ 2 min ontgassen.Verdampende afzetting.De verdampingsstroom wordt naar behoefte aangepast totdat de gewenste depositietijd voorbij is.Koelen, de artikelen worden gekoeld tot een bepaalde temperatuur in de vacuümkamer.
(7) Nadat de items zijn verwijderd, wordt de vacuümkamer gesloten, wordt het vacuüm geëvacueerd tot l × 10-1 Pa en wordt de diffusiepomp afgekoeld tot de toegestane temperatuur voordat de onderhoudspomp en het koelwater kunnen worden uitgeschakeld.
 


Posttijd: sep-07-2021